美國(guó)BROOKS流量計(jì)-5850EM 系列金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器
型號(hào) 5850EM / 5851EM
5850EM 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器測(cè)量和控制超潔凈環(huán)境中的高壓氣體流量，其穩(wěn)定性基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC 的性能。其金屬密封結(jié)構(gòu)和電拋光潤(rùn)濕表面確保出色的流動(dòng)完整性，并通過消除對(duì)氣體壓力的持續(xù)監(jiān)測(cè)和重新調(diào)整以提供穩(wěn)定的氣體流動(dòng)的需要，幫助提高整體工藝效率。
概述
特征
每年<0.2%滿量程的長(zhǎng)期零穩(wěn)定性
<3 秒的穩(wěn)定時(shí)間來命令更改，過沖/下沖可忽略不計(jì)
流量范圍寬——從 3 sccm 到 30,000 slpm
高壓等級(jí) - 高達(dá) 1,500 psi
可選的增強(qiáng)工藝內(nèi)部光潔度 - 5μ 英寸 Ra avg
可拆卸流量傳感器
對(duì)安裝姿態(tài)不敏感
與其他質(zhì)量流量控制器機(jī)械和電氣兼容
TTL 兼容“閥門關(guān)閉”和吹掃功能
好處
全金屬流路提高了氣體純度并減少了泄漏
在廣泛的過程和應(yīng)用范圍內(nèi)經(jīng)過驗(yàn)證的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性
可靠的性能帶來出色的投資回報(bào)
可拆卸流量傳感器無需連續(xù)監(jiān)測(cè)和重新調(diào)整氣壓
通過僅模擬輸入/輸出輕松安裝和維修
應(yīng)用
光纖
LED / MOCVD
半導(dǎo)體
太陽的
規(guī)格：
產(chǎn)品類別質(zhì)量流量控制器
微分器
具有久經(jīng)考驗(yàn)的長(zhǎng)期性能的大型安裝基礎(chǔ)
表現(xiàn)
流量范圍（滿量程）3 立方厘米 - 30,000 立方厘米
準(zhǔn)確性
1% FS 包括 線性度
1.5% FS 含 線性度 >20 slpm
重復(fù)性
費(fèi)率的 0.2%
線性度
±0.5% FS（包括在精度中）
響應(yīng)時(shí)間
常閉閥：<3 秒
可選：600 毫秒
多氣體和范圍可配置性
—
壓力瞬態(tài)不敏感—
控制范圍
2-3% - 100%
箱數(shù)
不適用
閥門關(guān)閉
不適用
零穩(wěn)定性< ±0.5% FS 每年
機(jī)械的
密封材料金屬
純度水平/表面光潔度
316L VAR、316L 和高合金鐵素體不銹鋼
接液材料
閥座：316L、Viton ?氟橡膠、Buna-N、Kalrez ?或 Teflon ?
閥門選項(xiàng)
常閉、常開
儀表（無閥門）
收視率
最高溫度65攝氏度_
差壓范圍
5 - 50 psi（取決于氣體和范圍）
最大壓力
1500 磅/平方英寸
泄漏完整性1x10 -10 atm cc/sec He
診斷和顯示
診斷能力—
狀態(tài)燈MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)
警報(bào)
控制閥輸出，網(wǎng)絡(luò)中斷
診斷/服務(wù)端口
不適用
?
電氣
模擬通信
4-20毫安
0-5 伏直流電
數(shù)字通信
—
電氣連接
15 針 D 連接器 (DA-15P)
電源/消耗
常閉閥：3.25 瓦
常開閥：10.5 瓦
遵守
電磁兼容
(89/336/EEC) 每 61326
環(huán)境合規(guī)
不適用