美國BROOKS流量計5866RT 彈性體密封壓力控制器和流量計
廣泛的流量測量范圍內(nèi)的高壓應(yīng)用的多功能性。
型號 5866RT
Brooks 5866RT 型金屬或彈性體密封壓力控制器和流量計在控制壓力的同時還測量流量。5866RT 型接收遠程壓力傳感器信號，并使用可調(diào)節(jié)的集成 PID 控制電子設(shè)備和控制閥，將保持所需的設(shè)定壓力。5866RT 具有密封件、電拋光潤濕表面以及廣泛的壓力和流量測量范圍等選項，可在廣泛的過程中提供經(jīng)過驗證的結(jié)果。
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美國BROOKS流量計5866RT特征
一體式壓力傳感器
響應(yīng)時間：<0.8 秒
寬流量測量范圍，滿量程流量從 0 - 3 sccm 到 0 - 30,000 sccm
滿量程壓力范圍廣（最大壓力 1500 psig）
可選金屬密封件
電拋光潤濕表面（可選）
電控閥超控
適用于上游或下游控制
模擬接口
美國BROOKS流量計5866RT好處
消除下垂、滯后和升壓
高泄漏完整性
更好地控制壓力和流量
使用頂部安裝的 DIP 開關(guān)進行動態(tài)調(diào)整
美國BROOKS流量計5866RT應(yīng)用
薄膜工藝
化學研究
石化研究
實驗室
燃料電池
生命科學
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