美國BROOKS流量計(jì)-超高純度壓力傳感器和變送器
挑戰(zhàn)：改善超高純度工藝中的氣體管理
許多晶圓廠的大容量氣體源和機(jī)柜與他們提供的工具相距很遠(yuǎn)。24/7 全天候準(zhǔn)確和受控地輸送這些氣體對于工具的利用率和正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要——因此實(shí)施壓力傳感器和變送器來測量、跟蹤和傳達(dá)壓力水平，并在壓力超出設(shè)定點(diǎn)時(shí)生成警報(bào)同樣重要。
解決方案：SolidSense II® 壓力傳感器
Brooks SolidSense II® 壓力傳感器設(shè)計(jì)用于處理當(dāng)今最尖端的半導(dǎo)體工藝和節(jié)點(diǎn)中使用的復(fù)雜且有時(shí)苛刻的氣體。它們結(jié)合了無焊接、耐腐蝕的材料，精度在滿量程的 0.25% 以內(nèi)。通過使用由優(yōu)質(zhì)不銹鋼加工而成的獨(dú)特的一體式傳感器，SolidSense II 傳感器無論被測量的氣體如何，都表現(xiàn)出出色的長期穩(wěn)定性。
產(chǎn)品
微分器 超高純度
壓力范圍 -15 磅/平方英寸 - 3000 磅/平方英寸
建筑材料 外殼：不銹鋼、聚合物塑料
模擬通信 0-5 Vdc、0-10 Vdc、0.2-5.2 Vdc、2-10 Vdc、4-20 mA
認(rèn)證/批準(zhǔn)
EMC：符合歐盟指令 2004/108/EC
FM 認(rèn)證：非易燃，可用于 I 類、II 類 A、B、C 和 D 組危險(xiǎn)應(yīng)用