G系列GE50A013103SMV020數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器利用最新的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定值做出快速和可重復(fù)的響應(yīng)。它的滿量程流量范圍為100 sccm，控制范圍為2至1000 sccm，具有接地的15引腳D-sub mixture連接器，以及0-5 VDC流量輸入/輸出信號(hào)。
美國(guó)mks流量計(jì)產(chǎn)品系列概述
GE50A彈性體密封的5-50，000 sccm質(zhì)量流量控制器
技術(shù)規(guī)格
類型：質(zhì)量流量控制器
校準(zhǔn)氣體：N2(或同等產(chǎn)品)
控制范圍：2 - 100 sccm
滿量程流量范圍：100 sccm
配件類型：0.25英寸。世偉洛克風(fēng)格
密封材料：氟橡膠
流量輸入輸出信號(hào)：0 - 5伏直流電
模擬連接器：15針D-sub(接地)
最大入口壓力：150磅/平方英寸
正常工作壓差：10至40磅/平方英寸
耐受壓力：1000磅/平方英寸
破裂壓力：1500磅/平方英寸
典型精度：20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2%
可重復(fù)性：讀數(shù)的0.3%
解決：滿量程的0.1%
零溫度系數(shù)：%3C0.05%滿量程/℃
跨度溫度系數(shù)：讀數(shù)的% 3c 0.08%/C
入口壓力系數(shù)：讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸
典型建立時(shí)間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%
預(yù)熱：時(shí)間30分鐘
工作溫度：10 - 50攝氏度
儲(chǔ)存濕度：0至95%相對(duì)濕度，非冷凝
儲(chǔ)存溫度：-20至80攝氏度
外部泄漏完整性：%3C1 x 10-09(SCC/秒He)
通過(guò)關(guān)閉的閥門(mén)泄漏完整性：高達(dá)10K閥門(mén)%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS，20K - 50K閥門(mén)%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS
濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳
表面拋光：16英寸平均半徑
重量：3磅(1.4千克)
服從：英國(guó)國(guó)教會(huì)