根據(jù)復(fù)合真空計測量原理使用的物理機制，將主要真空計分為三類：利用力學性能、利用氣體動力學效果和利用電粒子效果的真空計。

　　復(fù)合真空計利用力學性能的真空計是典型的波頓量規(guī)和薄膜量規(guī)。復(fù)合真空計利用氣體動力學效應(yīng)的典型真空計有菲拉尼電阻計和熱電偶計。復(fù)合真空計利用電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離計和冷陰極電離計。

　　1.波頓條例

　　細長的銅管根據(jù)氣體壓力有拉伸現(xiàn)象，旋轉(zhuǎn)杠桿和齒輪，使指針顯示在不同的刻度上，以便讀取相應(yīng)的氣壓值。這個儀表盤的測量范圍一般在100Pa  ~ 1atm之間。

　　2.薄膜容量規(guī)

　　在不同的壓力下，金屬膜在力不同的情況下會有不同尺度的變形，通過測量金屬膜和電極之間的電容變化，可以知道金屬膜中氣壓的變化。此儀表盤的測量范圍通常為0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

　　這種規(guī)則的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是要在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用。為了消除溫差對膜片力學性能的影響，一般需要預(yù)熱幾個小時。

　　3.菲拉尼電阻計

　　也稱為熱電阻真空計，它利用電阻和溫度之間關(guān)系的原理工作。由于氣壓不同氣體分子的熱傳導(dǎo)能力不同，在對烈士施加一定電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)的熱量不同，烈士維持的溫度不同，因此烈士阻力大小不同，可以通過測量烈士阻力大小來估算氣壓大小。配合電橋測量烈士電阻的變化，可以有效提高測量的準確度。此儀表盤的測量范圍通常在0.1Pa到1000Pa之間。由于不同氣體在相同氣壓下的熱導(dǎo)率不同，因此，該規(guī)定應(yīng)根據(jù)不同的使用氣體進行測量。

　　4.熱電偶規(guī)

　　熱電偶計與菲拉尼電阻計的基本原理一致，但不是測量火線電阻的變化，而是使用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。測量范圍通常在0.1Pa到1000Pa之間。和菲拉尼阻力計一樣，這一規(guī)則也需要在不同的使用氣體中加以糾正。

　　5.熱陰極電離規(guī)

　　在熱陰極電離計中，熱陰極，即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，收集極收集的離子形成離子電流，通過測量離子電流的大小，可以估算真空中氣體分子的密度，從而得到壓力大小。此量規(guī)的測量范圍通常為1.0E-05Pa至0.1Pa。改進的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert法規(guī)可以將測量下限降低到1.0E-09Pa。由于同一氣壓下氣體的電離率不同，因此使用時也要在不同氣體下進行校正。