復(fù)合真空計是測量真空系統(tǒng)氣體壓力的儀器，種類繁多。這里介紹的復(fù)合真空計是常見的，復(fù)合真空計由溫差電偶真空計和熱陰極電離真空計的組合組成。

　　復(fù)合真空計的原理是什么?

　　復(fù)合真空計由玻璃制成，通過管子與真空系統(tǒng)連接，管子內(nèi)部的兩條引線裝有熱絲，另外兩條引線焊接有一對溫差電偶，溫差電偶另一端用熱絲在A點(diǎn)焊接。

　　在低壓下，氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓力成正比，因此通過烈士的電流(90~150 mA)，在一定條件下，烈士的溫度隨著調(diào)節(jié)內(nèi)真空度的提高，溫差電動勢也隨之增大。因此，通過測量溫差電電動勢，可以確定測量系統(tǒng)的真空度。溫差電偶真空計是根據(jù)這一原理制造的。溫差玩偶真空計電離真空計的測量范圍為1~510-2 Pa。

　　復(fù)合真空計的原理是怎樣?

　　電離真空管通過B管與真空系統(tǒng)連接使用時，燈絲電路中電流為毫安，燈絲受熱后會釋放電子。因為磁極是正電壓，所以電子加速，中間與氣體分子碰撞，氣體密度越大，碰撞機(jī)會越大，產(chǎn)生的正離子就越多。另外，由于板極電壓為負(fù)，因此吸引正離子在板極電路中形成板極電流Ip，氣體分子密度越高(即壓力越高)，板極電流也就越大，反之就越小。因此，測量板極電流可以確認(rèn)氣體的壓力，熱陰極電離真空計是根據(jù)這一原理制作的。熱陰極電離真空計是測量極高真空的儀器，測量范圍為110-2~110-5 Pa。注意：測量結(jié)束后，可以立即關(guān)閉電離真空管燈，延長規(guī)定壽命。

　　復(fù)合真空計的測量功能是怎樣?

　　1、測量壓力范圍寬度，105 ~ lo-14pa。

　　2、大多數(shù)真空計是間接測量，只有當(dāng)壓力為105~lOPa時，才能直接測量單位面積施加的力。但是，大多數(shù)真空測量的壓力比上面提到的要小得多，因此不能直接測量，必須使用低壓氣體的某些特性間接測量，如熱傳導(dǎo)、粘性、電離等。

　　3、多次使用非電量電測技術(shù)。

　　4、大多數(shù)真空計的讀數(shù)與氣體的種類和成分有關(guān)。因此，測量時要特別注意測量的氣體種類和成分。否則，可能會出現(xiàn)大錯誤。

　　5、測量準(zhǔn)確度不高。