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MKS流量控制器
廣東供應美國mks流量計控制器
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廣東供應美國mks流量計控制器

G系列GE50A013201RMV020的滿量程流量范圍為20 sccm,控制范圍為0.4至20 sccm,具有接地的15引腳D-sub mixture連接器和0-5 VDC流量輸入/輸出信號。校準N2(或等效氣體),這是一個數(shù)字控制的質量流量控制器,利用的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內和可重復地響應設定點。美國mks流量計產(chǎn)品系列概述 GE50A彈性體密封的5-50,000 sccm質量流量控制器


美國mks流量計G系列GE50A數(shù)字控制質量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數(shù)字控制電子設備利用的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內對設定值做出、可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。數(shù)字校準在校準氣體上產(chǎn)生1%的設定點精度。廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I/O。數(shù)字控制電子設備利用的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內對設定點提供和可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數(shù)字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。


解決:滿量程的0.1%零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5%預熱:時間30分鐘工作溫度:10-50攝氏度儲存濕度:0至95%相對濕度,非冷凝儲存溫度:-20至80攝氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關閉的閥門泄漏完整性:高達10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS,20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光:16英寸平均半徑重量:3磅(1.4千克)服從:英國國教會美國mks流量計G系列GE50A013103RMV020數(shù)字控制質量流量控制器利用的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內對設定值做出和可重復的響應。它的滿量程流量范圍為1000sccm,控制范圍為20至1000sccm,具有接地的15引腳D-submixture連接器,以及0-5VDC流量輸入/輸出信號。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。
 
質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空
和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /
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