西藏供應日本HORIBA流量計的簡單介紹
日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質量流量計
日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計
型號;
?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX
概要
SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現穩(wěn)定流量控制的氣體質量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復雜度。
特征
多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程
可變PID功能實現整個范圍內的高速響應（1秒內）
簡化氣路線無需額外增加調節(jié)器，傳感器，過濾器
穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響
搭載進氣壓傳感器
多種展示
1% S.P.的精度
潔凈設計 - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）
輕巧的尺寸
50SLM內相同的配件尺寸
信號兼容
模擬式/RS485 數字式 , DeviceNet?模式
數字信號控制
·?適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途：在普通產業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪?！?低成本：產品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3如今半導體成為工業(yè)進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導體的微觀世界。HORIBA各個領域的專家學者們致力于不同行業(yè)的工程項目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標，我們已成功開發(fā)了一系列的分析設備，液體控制和監(jiān)測系統(tǒng)已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段，從材料分析到檢查，HORIBA產品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。
日本HORIBA流量計(型號：S48300/HMT)
1，可應用行業(yè)：真空鍍膜 表面處理 配氣系統(tǒng)等
2，流量：（10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
3，產品特點：
A,高精度
B,良好的線性
C,的響應
D,電磁閥使用壽命≥100萬次
E,對零點漂移有效的抑制
F,化的零配件供應
G,通訊接口優(yōu)勢
H,多臺控制器可以同時運行
日本HORIBA流量計規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大50slm N2 標稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大200slm N2 標稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標稱流量.
日本HORIBA流量計概要
質量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產商, 長期以來如一的為半導體工業(yè)提供高質量、多功能的產品。現在，手攜的技術，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器： Z500系列。
相對于舊有的型號，Z500X 系列實現了的突破， 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現了復合氣體、復合流量的轉換?？蛻艨梢愿鶕瞥绦枰p松地更改流量計氣體種類和量程*2。
此外，藉由產品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產品的設計要求，為客戶提升產品價值。
高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質量流量計的誕生。
1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復合氣體、復合流量功能。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。
質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。