四川代理日本HORIBA流量計質量
·?適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途：在普通產業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪?！?低成本：產品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3如今半導體成為工業(yè)進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導體的微觀世界。HORIBA各個領域的專家學者們致力于不同行業(yè)的工程項目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標，我們已成功開發(fā)了一系列的分析設備，液體控制和監(jiān)測系統(tǒng)已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段，從材料分析到檢查，HORIBA產品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。
日本HORIBA流量計規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大50slm N2 標稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大200slm N2 標稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標稱流量.
日本HORIBA流量計HORIBA STEC 系列
STEC SMT-3000模擬橡膠密封質量流量計
STEC SFC-480模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEF-11模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質量流量計
STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質量流量計
STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7440模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7340模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7350模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7330模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4600模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4500模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4400模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-400模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-300模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-E40MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本質量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液體微小質量流量計/控制器
STEC SEC-400MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC-N100數字式質量流量控制器
STEC SEC-Z700熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計
STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數字式質量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高溫應用質量流量控制器
STEC SEC-2000高溫的質量流量控制器
STEC SEC-8000高溫應用質量流量控制器
日本HORIBA流量計型號SEC- (質量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質量流量計)E40E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時 關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2?100% F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0?100% F.S.
響應速度
1秒以內(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(小負荷電阻2kΩ)
驅動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2
1/4SWL 類型
SEC/N122JM氣體質量流量控制器概要
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。
質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。
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Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.
The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.
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