貴州代理日本HORIBA流量計(jì)質(zhì)量
EC-Z500X 使用了開(kāi)發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，任意兩個(gè)設(shè)定流量點(diǎn)之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時(shí)，PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動(dòng)的調(diào)整，即使在氣體種類(lèi)和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動(dòng)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)。 復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案 HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶(hù)輕松地在現(xiàn)場(chǎng)更改氣體種類(lèi)和流量成為現(xiàn)實(shí). 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡(jiǎn)單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來(lái)。 如此一來(lái)，就可以很大程度上減少客戶(hù)備品的數(shù)量，同時(shí)節(jié)省了時(shí)間和成本。
日本HORIBA流量計(jì)其它型號(hào)
SEC- (質(zhì)量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (質(zhì)量流量計(jì))
E40
E50
適用氣體種類(lèi)*1
非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門(mén)型號(hào)
非通電時(shí)?關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2? F.S.
流量測(cè)量范圍
(適于SEF系列)
0? F.S.
響應(yīng)速度
1秒以?xún)?nèi)(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線(xiàn)性
±0.5% F.S.
反復(fù)性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐?壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號(hào)
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.
流量輸出信號(hào)
0?5VDC(負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2
1/4SWL 類(lèi)型
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在對(duì)流量進(jìn)行計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。日本HORIBA流量計(jì)Gas Mass Flow Controllers / Meters
無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專(zhuān)業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷(xiāo)售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專(zhuān)業(yè)從事銷(xiāo)售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷(xiāo)真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。
