美國(guó)BROOKS流量計(jì)-質(zhì)量流量控制器和儀表匯總
質(zhì)量流量控制技術(shù)。無(wú)與倫比的工藝精度。
要真正控制任何過程，您必須精確測(cè)量正在發(fā)生的事情——在進(jìn)料線、腔室中，在每個(gè)點(diǎn)——然后實(shí)時(shí)使用該信息來(lái)保持過程精確地達(dá)到目標(biāo)并保持生產(chǎn)效率。
作為精密流體測(cè)量和控制領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)者，質(zhì)量流量計(jì)制造商 Brooks Instrument 不斷創(chuàng)新熱式質(zhì)量流量技術(shù)。從熱流量傳感器和質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)，我們不斷推出新產(chǎn)品并增強(qiáng)現(xiàn)有系統(tǒng)，以將熱質(zhì)量流量測(cè)量精度、響應(yīng)性、準(zhǔn)確性和可重復(fù)性提升到新的水平。
我們的質(zhì)量流量傳感器在全球范圍內(nèi)使用最廣泛的主要原因包括：
業(yè)界最佳的數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)和其他產(chǎn)品系列，可滿足最廣泛的應(yīng)用需求
MultiFlo™ 技術(shù)允許一臺(tái)設(shè)備更改氣體類型和范圍，而無(wú)需將設(shè)備從系統(tǒng)中移除并提高實(shí)際過程氣體的準(zhǔn)確性。MultiFlo™ 可與熱質(zhì)量或流量傳感器一起使用
完整的產(chǎn)品范圍包括用于熱式質(zhì)量流量傳感器和科里奧利質(zhì)量流量傳感器的彈性體密封和金屬密封選項(xiàng)
為滿足薄膜、半導(dǎo)體和其他高科技行業(yè)要求而設(shè)計(jì)的超高純度質(zhì)量流量傳感器和設(shè)備
主要應(yīng)用
質(zhì)量流量傳感器的熱處理、切割和其他熱處理工藝
半導(dǎo)體和 LED 生產(chǎn)工具
薄膜沉積系統(tǒng)
生物制藥生物反應(yīng)器
石化和化學(xué)氣體和液體中試裝置
吹掃氣體、過程分析和分析流量測(cè)量
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美國(guó)BROOKS流量計(jì)-彈性體密封熱 |
美國(guó)BROOKS流量計(jì)-金屬密封 |
美國(guó)BROOKS流量計(jì)-高溫?zé)?/strong> |
美國(guó)BROOKS流量計(jì)-科里奧利 |
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最寬的流量和壓力范圍
長(zhǎng)期穩(wěn)定性帶來(lái)持續(xù)價(jià)值
包括批準(zhǔn)用于危險(xiǎn)區(qū)域的產(chǎn)品
軟管沖洗/沖洗設(shè)備外殼
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適用于對(duì)水分或氧氣敏感的工藝
高純度流路最大限度地減少過程污染，提高產(chǎn)量
超快響應(yīng)時(shí)間
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最高工作溫度
高精度和可重復(fù)性
超高純度結(jié)構(gòu)
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極低流量過程的最高精度
固有流體密度計(jì)
適用于液體和氣體應(yīng)用的設(shè)備
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流體類型
氣體
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流體類型
氣體
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流體類型
氣體、蒸汽
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流體類型
氣體、液體
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流量范圍（滿量程）
3 sccm - 2500 lpm
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流量范圍（滿量程）
.06 sccm - 300 slpm
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流量范圍（滿量程）
3 sccm - 10 slm
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流量范圍（滿量程）
10 - 27,000 克/小時(shí)
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準(zhǔn)確性
± 0.6% SP
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準(zhǔn)確性
SP ±1%
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準(zhǔn)確性
SP ±1%
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準(zhǔn)確性
費(fèi)率的0.2% - 0.5%
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最大壓力
4500 磅/平方英寸
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最大壓力
150 磅/平方英寸
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溫度
150攝氏度_
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溫度
65攝氏度_
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輸出類型
模擬和數(shù)字
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輸出類型
模擬和數(shù)字
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輸出類型
模擬和數(shù)字
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輸出類型
模擬和數(shù)字
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